Teledyne API470溶解臭氧分析儀（0-150mg/L）
470是先進的溶解臭氧測量模塊，為半導體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設計。它能夠提供去離子水或硫酸中濃度高達150mg/L的溶解臭氧測量。470已完成預備清潔，能夠滿足高純度半導體過程的需求，并且可簡單的直接拼接進任何濕法處理的環(huán)流回路中， 很高支持150 SLPM的流量。
470型傳感器使用雙路取樣傳感技術，達到了無與倫比的性能，且擺脫了對參比液體測量的需求。
通常的安裝僅僅包括470傳感器和特氟龍7包裹的內(nèi)部連接電纜。470傳感器能夠通過模擬或數(shù)字信號向濕法處理過程控制臺遠程報告測量的濃度。
特點
現(xiàn)場檢測
在線且全流量監(jiān)測
直線通過的流型
無移動部件
無消耗品
測量范圍 很高達150 mg/L
遠程零點校準
高精度紫外吸收法
雙光道采樣感應技術
不需求日常維護
半導體級別濕式材料
緊湊的特氟龍外殼
特氟龍7包裹的內(nèi)部連接電纜
規(guī)格
測量原理：紫外線吸收，雙光路樣品感測技術
紫外線光源：低壓汞燈
測量單位：ppmw，毫克/升
量程：高達150 mg / L（150 ppmw）
精度：0.5 mg / L或讀數(shù)的1％（以較大值為準）
水流量： 很高150 SLPM
采樣端口：1英寸，3/4英寸，1/2英寸Flaretek接頭
很大壓力：55磅/平方英寸
接觸材料：鐵氟龍，藍寶石，與半導體工藝兼容
外殼 ：PTFE鐵氟龍
尺寸：144 x 171 x 82毫米
維護：每24個月更換一次紫外線燈。沒有其他預定的維護。
電纜：鐵氟龍護套
電源：+15伏直流
模擬量輸出：4至20 mA或0至5 VDC，出廠配置
數(shù)字量I / O：RS232或RS485，出廠配置
遠程較零：通過DB15進行遠程零位校準
應用
液態(tài)溶解臭氧
半導體濕法清洗系統(tǒng)
超純水系統(tǒng)
制藥業(yè)
水處理
其他工業(yè)過程
